|
Группа решений предназначена для автоматизированного анализа изображений
наноструктуры полупроводниковых
материалов, полученных методами ПЭМ, РЭМ и АСМ микроскопии.
Анализ производится по произвольному числу полей зрения с накоплением и
статистической обработкой результатов.
Пользователь имеет возможность производить настройку параметров обработки
изображения на каждом этапе обработки, а также проводить коррекцию выделенных и
классифицированных объектов.
После выполнения методики автоматически генерируется отчёт в формате MS Word, который включает в себя результаты анализа (таблицы, графики и примеры
изображений микроструктуры). Форма отчёта может быть изменена в соответствии с
запросами пользователя.
Анализ регулярной структуры
Объект исследования
Анализ проводится по изображению, полученному методом просвечивающей
электронной микроскопии (ПЭМ).
Измеряемые параметры
 |
Угол наклона главной оси к горизонтали |
|
|
Число колонок |
|
|
Число столбцов |
|
|
Расстояние между осями |
|
|
Расстояние между соседними объектами на одной оси |
|
|
Отклонение центра объекта от оси |
|
|
Размер объекта вдоль главной оси |
|
|
Размер объекта поперёк главной оси |
|
|
Площадь обекта |
|
|
Диаметр эквивалентной окружности |
|
|
Расстояние от объекта до межрядовой линии |
Для каждого параметра определяется среднее значение, медиана, СКО,
гистограмма распределения
(кроме первых трёх параметров)
Пример анализа
 |
 |
 |
| Исходное изображение |
Выделенные объекты |
Гистограмма распределения расстояний между
объектами |
наверх
Анализ шероховатости линий
Объект исследования
Анализ проводится по изображению, полученному методом просвечивающей
электронной микроскопии (ПЭМ).
Измеряемые параметры
|
|
Шероховатость линий по ширине (LWR) |
|
|
Шероховатость границ линий (LER) |
Для каждого типа шероховатости определяется:
|
|
Средняя шероховатость |
|
|
Среднеквадратичная шероховатость |
|
|
Шероховатость пиков |
|
|
Шероховатость впадин |
|
|
Общая шероховатость |
|
|
Ассиметрия |
|
|
Эксцесс |
Дла каждого параметра определяется среднее, минимальное, максимальное значение, СКО, медиана, размах.
Пример анализа
 |
 |
| Исходное изображение |
Секущие линии |
наверх
Анализ ширины линий
Объект исследования
Анализ проводится по изображению, полученному методом просвечивающей
электронной микроскопии (ПЭМ).
Измеряемые параметры
|
|
Максимальная ширина |
|
|
Минимальная ширина |
|
|
Средняя ширина |
|
|
Медианное значение ширины |
|
|
СКО значений ширины |
|
|
Гистограмма распределения ширины |
Пример анализа
 |
 |
 |
| Исходное изображение |
Измерение ширины |
Гистограмма распределения ширины линии 1 |
наверх
>
Анализ формы зубцов
Объект исследования
Анализ проводится по изображению, полученному методом просвечивающей
электронной микроскопии (ПЭМ).
Измеряемые параметры
|
|
Количество зубцов |
|
|
Для каждого зубца определяется
- высота
- ширина сверху
- ширина снизу
- минимальная ширина
- максимальная ширина |
Пример анализа
 |
 |
| № |
Высота |
Ширина сверху |
Ширина снизу |
Ширина макс. |
Ширина мин. |
| 1 |
804 |
36,9 |
68,6 |
26,4 |
68,6 |
| 2 |
806,2 |
37,2 |
69,2 |
28,6 |
69,2 |
| 3 |
801,8 |
43,2 |
74,2 |
33 |
74,2 |
| 4 |
801,8 |
34,5 |
68,4 |
26,4 |
68,4 |
| 5 |
808,4 |
35 |
70 |
28,6 |
70 |
|
| Исходное изображение |
Процедура измерения |
Таблица результатов анализа |
наверх
|
